도쿄--(뉴스와이어)--지올(JEOL Ltd., TOKYO: 6951, 사장 겸 최고경영자: 오이 이즈미(Izumi Oi))이 이달 23일 주사전자현미경(Scanning Electron Microscopes, SEM) JSM-IT710HR 및 JSM-IT210를 출시한다고 발표했다.

주사전자현미경은 기초 연구, 생산 라인, 품질 관리는 물론 연구개발에 이르기까지 다방면으로 활용되는 현미경으로, 금속, 반도체, 배터리, 생명공학, 폴리머 등 여러 분야에서 사용된다. 또한 관찰이나 분석에 대한 전문 지식 없이도 성분 정보를 더 쉽게 확인할 수 있는 SEM에 대한 수요가 계속해서 늘고 있다.

이번 출시되는 모델 중 JSM-IT710HR은 전자총 안정성을 개선했으며, 또 다른 모델인 JSM-IT210에는 5축 모터 제어 시료대를 도입했다. 두 모델 모두 관찰 및 분석을 위한 자동 측정 기능이 탑재되면서 SEM의 성능을 전반적으로 크게 끌어올렸다. 이들 모델은 최근 늘어나고 있는 자동 측정 기기의 시장 수요를 충족하고, 측정 작업의 효율성 증대에 기여할 수 있을 것으로 기대된다.

◇ 주요 특징

1. ‘심플 SEM(Simple SEM)’을 통한 SEM 이미지 정보 생성 및 EDS 분석 자동화

심플 SEM 기능은 SEM 이미지 정보 생성 조건과 시야각만 설정하면, 자동으로 SEM 이미지와 에너지 분산형 X선 분광법(EDS) 분석 결과를 보여주는 기능이다. 이를 통해 분석 등 측정 과정의 효율성 증대에 기여할 수 있을 것으로 기대된다.

2. 즉석 3D 이미지를 구현하는 ‘라이브 3D(Live3D)’

SEM 관측으로 불균일한 부위와 깊이 정보를 파악하면서 즉석에서 3D 이미지를 구현할 수 있다.

3. 동일 영역에 대해 기존 시스템 대비 5배 큰 광학 이미지를 제공하는 ‘스테이지 내비게이션 시스템 LS(Stage Navigation System LS)’

스테이지 내비게이션 시스템 LS는 동일 영역에 대해 기존 시스템(직경 약 159mm) 대비 5배 큰 광학 이미지를 얻을 수 있는 기능이다. 이 기능을 활용해 관측 표본에 대한 광학 이미지를 수집할 수 있으며, 이미지를 클릭하기만 하면 원하는 관측 영역으로 이동할 수도 있다.

4. 저진공 상태에서도 고화질 표면 정보를 수집할 수 있는 ‘저진공 하이브리드 보조 전자 검출기(Low-vacuum Hybrid Secondary Electron Detector , LHSED)’

저진공 상태에서도 S/N비가 높고 상세한 표면 정보를 포함한 이미지를 제공하는 검출기로, 전자 및 광자 신호 모두 수집할 수 있다.

5. 5축 모터 제어 시료대

표준 설계로 5축 모터 제어 시료대를 채택함으로써 불균일한 표본의 SEM 이미지 정보 생성 및 EDS 분석을 더욱 편리하게 수행할 수 있다.

6. 전자총 안정성 개선(JSM-IT710HR)

전자 빔 안정성을 더욱 개선해 여러 표본을 올려놓을 수 있는 시료대에 장시간에 걸쳐 계속해서 빔을 자동 발사할 수 있다.

◇ 연간 판매량 목표

JSM-IT710HR: 연간 150대

JSM-IT210: 연간 250대

지올(JEOL Ltd.)

3-1-2, Musashino, Akishima, Tokyo, 196-8558, Japan

사장 겸 최고경영자 오이 이즈미(Izumi Oi)

(종목 코드: 6951, 도쿄증권거래소 프라임 시장)

www.jeol.com

사진/멀티미디어 자료: https://www.businesswire.com/news/home/53449721/en

본 보도자료는 해당 기업에서 원하는 언어로 작성한 원문을 한국어로 번역한 것이다. 그러므로 번역문의 정확한 사실 확인을 위해서는 원문 대조 절차를 거쳐야 한다. 처음 작성된 원문만이 공식적인 효력을 갖는 발표로 인정되며 모든 법적 책임은 원문에 한해 유효하다.